Pentakis(dimethylamino)tantalum(V) 의 분자 구조, CAS 번호: 19824-59-0
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V) (CAS 19824-59-0)
적용:
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V) 는 질화탄탈륨 박막의 휘발성 고체 CVD 전구체입니다.
CAS 등록번호:
19824-59-0
분자량:
401.33
분자식:
C10H30N5Ta
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펜타키스(디메틸아미노)탄탈륨(V)은 질화탄탈륨 박막의 휘발성 고체 CVD 전구체입니다. 또한 증착 공정 중에 O2, H2O, NO 또는 H2O2가 존재할 때 산화탄탈륨 박막을 생성합니다.
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V) (CAS 19824-59-0) 참고자료
1. Son, K. -A. et. al. J. Vac. Sci. Technol. A 16, 1670, (1998) 2. Son, K. -A. et. al. Appl. Phys. Lett. 72, 1187, (1998)주문정보
| 제품명 | 카탈로그 번호 | 단위 | 가격 | 수량 | 관심품목 | |
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V), 5 g | sc-236320 | 5 g | $415.00 |