Struttura molecolare di Pentakis(dimethylamino)tantalum(V), Numero CAS: 19824-59-0
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V) (CAS 19824-59-0)
Applicazione:
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V) è un precursore solido volatile CVD per film sottili di nitruro di tantalio
Numero CAS:
19824-59-0
Peso molecolare:
401.33
Formula molecolare:
C10H30N5Ta
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Il pentakis(dimetilammino)tantalio(V) è un precursore solido volatile per CVD di film sottili di nitruro di tantalio. Produce anche film sottili di ossido di tantalio in presenza di O2, H2O, NO o H2O2 durante il processo di deposizione.
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V) (CAS 19824-59-0) Referenze
1. Son, K. -A. et. al. J. Vac. Sci. Technol. A 16, 1670, (1998) 2. Son, K. -A. et. al. Appl. Phys. Lett. 72, 1187, (1998)Informazioni ordini
| Nome del prodotto | Codice del prodotto | UNITÀ | Prezzo | Quantità | Preferiti | |
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V), 5 g | sc-236320 | 5 g | $415.00 |