Structure moléculaire de Pentakis(dimethylamino)tantalum(V), Numéro CAS: 19824-59-0
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V) (CAS 19824-59-0)
Application(s):
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V) est un précurseur solide volatil de films minces de nitrure de tantale pour le dépôt en phase vapeur (CVD).
Numéro CAS:
19824-59-0
Masse Moléculaire:
401.33
Formule Moléculaire:
C10H30N5Ta
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Le pentakis(diméthylamino)tantale(V) est un précurseur solide volatile pour le dépôt en phase vapeur (CVD) de films minces de nitrure de tantale. Il produit également des couches minces d'oxyde de tantale en présence de O2, H2O, NO ou H2O2 pendant le processus de dépôt.
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V) (CAS 19824-59-0) Références
1. Son, K. -A. et. al. J. Vac. Sci. Technol. A 16, 1670, (1998) 2. Son, K. -A. et. al. Appl. Phys. Lett. 72, 1187, (1998)Informations pour la commande
| Nom du produit | Ref. Catalogue | COND. | Prix HT | QTÉ | Favoris | |
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V), 5 g | sc-236320 | 5 g | $415.00 |