Estructura molecular de Pentakis(dimethylamino)tantalum(V), Número CAS: 19824-59-0
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V) (CAS 19824-59-0)
Solicitud:
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V) es un precursor sólido volátil de CVD para películas finas de nitruro de tántalo
Número de CAS:
19824-59-0
Peso Molecular:
401.33
Fórmula Molecular:
C10H30N5Ta
Para Uso Exclusivo en Investigación. No está diseñado para uso en diagnosis o terapia.
* En el Certificado de Análisis específico de lote, puede encontrar información específica (como el contenido en agua).
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El pentakis(dimetilamino)tántalo(V) es un precursor sólido volátil de CVD para películas finas de nitruro de tántalo. También produce películas delgadas de óxido de tántalo cuando hay O2, H2O, NO o H2O2 presentes durante el proceso de deposición.
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V) (CAS 19824-59-0) Referencias
1. Son, K. -A. et. al. J. Vac. Sci. Technol. A 16, 1670, (1998) 2. Son, K. -A. et. al. Appl. Phys. Lett. 72, 1187, (1998)Información sobre pedidos
| Nombre del producto | Número de catálogo | UNIDAD | Precio | CANTIDAD | Favoritos | |
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V), 5 g | sc-236320 | 5 g | $415.00 |