Pentakis(dimethylamino)tantalum(V) の分子構造、CAS番号: 19824-59-0
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V) (CAS 19824-59-0)
アプリケーション:
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V)は、タンタル窒化物薄膜の揮発性固体CVD前駆体です
CAS 番号:
19824-59-0
分子量:
401.33
分子式:
C10H30N5Ta
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ペンタキス（ジメチルアミノ）タンタル（V）は、窒化タンタル薄膜の揮発性固体CVD前駆体である。また、蒸着プロセス中にO2、H2O、NO、H2O2が存在する場合、酸化タンタル薄膜が得られます。
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V) (CAS 19824-59-0) 参考文献
1. Son, K. -A. et. al. J. Vac. Sci. Technol. A 16, 1670, (1998) 2. Son, K. -A. et. al. Appl. Phys. Lett. 72, 1187, (1998)注文情報
| 製品名 | カタログ # | 単位 | 価格 | 数量 | お気に入り | |
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V), 5 g | sc-236320 | 5 g | $415.00 |