Tetrakis(diethylamino)zirconium (CAS 13801-49-5)
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Le tétrakis(diéthylamino)zirconium est un produit chimique principalement étudié pour ses applications dans la science des matériaux, en particulier dans le domaine des processus de dépôt de couches atomiques (ALD). Ce composé agit comme un précurseur du zirconium, permettant le dépôt précis de couches minces contenant du zirconium qui font partie intégrante de la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Sa réactivité dans des conditions contrôlées permet d'étudier la chimie des surfaces et la cinétique de croissance des couches minces, ce qui est essentiel pour améliorer les performances des composants électroniques. Les chimistes utilisent souvent ce composé dans la synthèse de céramiques et de catalyseurs à base de zirconium, en explorant l'influence de ses ligands sur les propriétés des matériaux qui en résultent. En outre, son utilité dans la production de cadres métallo-organiques (MOF) est d'un grand intérêt en raison du potentiel de ces structures pour les applications de stockage et de séparation des gaz.
Tetrakis(diethylamino)zirconium (CAS 13801-49-5) Références
- Complexes de titane et de zirconium d'un ligand p-tert-butylcalix[5]arène contenant du phosphore: importance du métal et de la conformation sur la liaison ligand/métal. | Fan, M., et al. 2006. Inorg Chem. 45: 6490-6. PMID: 16878963
- Mécanisme réactionnel du dépôt de couche atomique d'oxyde de zirconium à l'aide de précurseurs de zirconium portant des ligands aminés et de l'eau. | Xu, R., et al. 2022. Front Chem. 10: 1035902. PMID: 36405315
- Résolution de la chaleur générée par les réactions de surface du dépôt de couche atomique de ZrO2. | Bielinski, AR., et al. 2023. Angew Chem Int Ed Engl. e202301843. PMID: 37316957
- Stabilisation d'une phase cristalline de ZrO2 à très haut k par recuit post-dépôt de diélectriques ZrO2/La2O3 déposés par couche atomique sur germanium | S. Abermann, C. Henkel, O. Bethge, G. Pozzovivo, P. Klang, E. Bertagnolli. 2010. Applied Surface Science. 256: 5031-5034.
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| Nom du produit | Ref. Catalogue | COND. | Prix HT | QTÉ | Favoris | |
Tetrakis(diethylamino)zirconium, 5 g | sc-272578 | 5 g | $86.00 |