Molekülstruktur von Pentakis(dimethylamino)tantalum(V), CAS-Nummer: 19824-59-0
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V) (CAS 19824-59-0)
Anwendungen:
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V) ist ein flüchtiger fester CVD-Vorläufer für Tantalnitrid-Dünnschichten
CAS Nummer:
19824-59-0
Molekulargewicht:
401.33
Summenformel:
C10H30N5Ta
Ausschließlich für Forschungszwecke. Nicht Geeignet für Verwendung in Diagnostik oder Therapie.
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Pentakis(dimethylamino)tantal(V) ist ein flüchtiger fester CVD-Vorläufer für dünne Tantalnitridschichten. Es ergibt auch Tantaloxid-Dünnschichten, wenn O2, H2O, NO oder H2O2 während des Abscheidungsprozesses vorhanden ist.
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V) (CAS 19824-59-0) Literaturhinweise
1. Son, K. -A. et. al. J. Vac. Sci. Technol. A 16, 1670, (1998) 2. Son, K. -A. et. al. Appl. Phys. Lett. 72, 1187, (1998)Bestellinformation
| Produkt | Katalog # | EINHEIT | Preis | ANZAHL | Favoriten | |
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V), 5 g | sc-236320 | 5 g | $415.00 |