Date published: 2026-2-11

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Tetrakis(dimethylamino)titanium (CAS 3275-24-9)

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대체 이름:
TDMAT; Tetrakis(dimethylamino)titanium(IV)
CAS 등록번호:
3275-24-9
분자량:
224.17
분자식:
C8H24N4Ti
연구용으로만 사용가능합니다. 진단이나 치료용으로 사용불가합니다.
Available in US only.
* 참조분석증명서대량의 측정 데이터(함수량포함).

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테트라키스(디메틸아미노)티타늄은 다양한 티타늄 함유 물질의 합성에서 티타늄 공급원으로서 기능합니다. 테트라키스(디메틸아미노)티타늄의 작용 메커니즘은 열분해를 통해 디메틸아민을 방출하고 기질에 이산화티타늄 필름을 형성하는 능력을 포함합니다. 테트라키스(디메틸아미노)티타늄은 광전지 장치, 센서 및 광학 코팅과 같은 응용 분야를 위한 박막 생산에 중요한 역할을 합니다. 테트라키스(디메틸아미노)티타늄은 티타늄 전구체 역할을 하여 맞춤형 특성을 가진 첨단 소재 개발에 기여합니다. 이 물질의 작용 메커니즘에는 화학 반응성과 분해 거동이 포함되어 있어 두께와 조성이 제어된 이산화티타늄 필름을 증착할 수 있습니다.


Tetrakis(dimethylamino)titanium (CAS 3275-24-9) 참고자료

  1. 인 함유 p-터트-부틸칼릭스[5]아렌 리간드의 티타늄 및 지르코늄 복합체: 리간드/금속 결합에 대한 금속 및 구조의 중요성.  |  Fan, M., et al. 2006. Inorg Chem. 45: 6490-6. PMID: 16878963
  2. OLED 패시베이션을 위해 플라즈마 강화 원자층 증착으로 증착된 이산화티타늄 박막.  |  Kim, WS., et al. 2008. J Nanosci Nanotechnol. 8: 4726-9. PMID: 19049095
  3. 플라즈마 강화 원자층 증착으로 제조된 루테늄-질화 티타늄 박막의 산소 확산 장벽 특성이 개선되었습니다.  |  Jeong, SJ., et al. 2011. J Nanosci Nanotechnol. 11: 671-4. PMID: 21446521
  4. 원자층 증착을 사용하여 증착된 비정질 TiO2의 제어된 분해 및 결정화를 통해 메조다공성 실리카 박막 내부에 균일하게 분산된 아나타제 나노 입자를 합성합니다.  |  Sree, SP., et al. 2013. Nanoscale. 5: 5001-8. PMID: 23636429
  5. InAs(100) 표면에 TiO2 필름을 원자층 증착(ALD)하는 동안 인듐 확산 및 자연 산화물 제거.  |  Ye, L. and Gougousi, T. 2013. ACS Appl Mater Interfaces. 5: 8081-7. PMID: 23895423
  6. 코어-쉘 나노 입자 합성을 위한 유동층 원자층 증착 반응기.  |  Didden, AP., et al. 2014. Rev Sci Instrum. 85: 013905. PMID: 24517780
  7. 테트라키스-디메틸아미노 티타늄과 오존을 사용하여 원자층 증착으로 성장한 TiO2 필름의 구조 및 광발광.  |  Jin, C., et al. 2015. Nanoscale Res Lett. 10: 95. PMID: 25852391
  8. 열 박막 증착 공정의 진단을 위한 광학적으로 접근 가능한 모듈형 반응기의 설계 및 작동.  |  Kimes, WA., et al. 2015. J Res Natl Inst Stand Technol. 120: 58-63. PMID: 26958438
  9. H2O2(g) 기능화를 통해 MIS 구조를 위해 Si0.5Ge0.5(110)에 원자적으로 정렬되고 화학적으로 선택적인 Si-O-Ti 단층을 형성합니다.  |  Park, SW., et al. 2017. J Chem Phys. 146: 052808. PMID: 28178814
  10. 테트라키스(디메틸아미노) 티타늄(TDMAT) 및 H2O 전구체를 사용하여 원자층 증착을 통한 컨포멀 2차원 TiO2 제조를 위한 데이터 세트입니다.  |  Zhuiykov, S., et al. 2017. Data Brief. 13: 401-407. PMID: 28664177
  11. 현장 IR 분광법 및 진공 X-선 광전자 분광법을 사용하여 티타늄 산화막의 열 및 플라즈마 강화 원자층 증착 중 표면 종에 대한 연구.  |  Vandenbroucke, SST., et al. 2020. Phys Chem Chem Phys. 22: 9262-9271. PMID: 32307490
  12. 테트라키스(디메틸아미노)티타늄(TDMAT) 및 사염화티타늄(TiCl4) 전구체를 사용하여 플라즈마 강화 원자층 증착으로 제조된 TiN 박막용 데이터 세트입니다.  |  Lee, WJ., et al. 2020. Data Brief. 31: 105777. PMID: 32551348
  13. 원자층 증착 TiN 박막을 전극으로 사용한 쇼트키형 GaN 기반 자외선 광검출기.  |  Su, L., et al. 2022. Opt Lett. 47: 429-432. PMID: 35030621
  14. 아닐린을 저분자 억제제로 사용하여 영역 선택적 원자층 증착 중 전구체 차단에 대한 계산적 조사.  |  Tezsevin, I., et al. 2023. Langmuir. 39: 4265-4273. PMID: 36921108

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