Tetrakis(diethylamino)zirconium 의 분자 구조, CAS 번호: 13801-49-5
Tetrakis(diethylamino)zirconium (CAS 13801-49-5)
CAS 등록번호:
13801-49-5
분자량:
379.74
분자식:
C16H40N4Zr
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테트라키스(디에틸아미노)지르코늄은 주로 물질 과학, 특히 원자층 증착(ALD) 공정 분야에서의 응용을 위해 연구된 화학물질이다. 이 화합물은 지르코늄 전구체의 역할을 하여 반도체 소자 제조에 필수적인 지르코늄 함유 박막의 정확한 증착을 가능하게 한다. 제어된 조건에서의 이 화합물의 반응성은 전자 부품 성능 향상에 중요한 표면 화학 및 박막 성장 역학 연구를 가능하게 한다. 화학자들은 종종 지르코늄 기반의 세라믹 및 촉매 합성에 이 화합물을 사용하여 이 화합물의 리간드가 결과적인 재료 특성에 미치는 영향을 탐구한다. 또한 이러한 구조가 가스 저장 및 분리 응용에 가질 수 있는 잠재력 때문에 금속-유기 프레임워크(MOF)를 생산하는 데 있어 이 화합물의 유용성은 매우 중요한 관심사이다.
Tetrakis(diethylamino)zirconium (CAS 13801-49-5) 참고자료
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- 게르마늄에 원자층 증착된 ZrO2/La2O3 유전체의 증착 후 어닐링을 통한 초고-k 결정질 ZrO2 상 안정화 | S. Abermann, C. Henkel, O. Bethge, G. Pozzovivo, P. Klang, E. Bertagnolli. 2010. Applied Surface Science. 256: 5031-5034.
주문정보
| 제품명 | 카탈로그 번호 | 단위 | 가격 | 수량 | 관심품목 | |
Tetrakis(diethylamino)zirconium, 5 g | sc-272578 | 5 g | $86.00 |