Date published: 2025-12-21

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Tetrakis(diethylamino)zirconium (CAS 13801-49-5)

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Numero CAS:
13801-49-5
Peso molecolare:
379.74
Formula molecolare:
C16H40N4Zr
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Il tetrakis(dietilammino)zirconio è una sostanza chimica studiata principalmente per le sue applicazioni nella scienza dei materiali, in particolare nell'ambito dei processi di deposizione su strato atomico (ALD). Questo composto agisce come precursore dello zirconio, consentendo la deposizione precisa di film sottili contenenti zirconio che sono parte integrante della produzione di dispositivi semiconduttori. La sua reattività in condizioni controllate consente di studiare la chimica di superficie e la cinetica di crescita dei film sottili, fondamentali per migliorare le prestazioni dei componenti elettronici. I chimici utilizzano spesso questo composto nella sintesi di ceramiche e catalizzatori a base di zirconio, esplorando l'influenza dei suoi ligandi sulle proprietà del materiale risultante. Inoltre, la sua utilità nella produzione di strutture metallo-organiche (MOF) è di notevole interesse per il potenziale che queste strutture hanno per le applicazioni di stoccaggio e separazione dei gas.


Tetrakis(diethylamino)zirconium (CAS 13801-49-5) Referenze

  1. Complessi di titanio e zirconio di un ligando p-terz-butilcalix[5]arene contenente fosforo: importanza del metallo e della conformazione sul legame ligando/metallo.  |  Fan, M., et al. 2006. Inorg Chem. 45: 6490-6. PMID: 16878963
  2. Meccanismo di reazione della deposizione atomica di ossido di zirconio utilizzando precursori di zirconio con leganti amminici e acqua.  |  Xu, R., et al. 2022. Front Chem. 10: 1035902. PMID: 36405315
  3. Risoluzione del calore generato dalle reazioni superficiali della deposizione di strati atomici di ZrO2.  |  Bielinski, AR., et al. 2023. Angew Chem Int Ed Engl. e202301843. PMID: 37316957
  4. Stabilizzazione di una fase cristallina ZrO2 ad altissimo k mediante ricottura post-deposizione di dielettrici ZrO2/La2O3 depositati in strato atomico su germanio  |  S. Abermann, C. Henkel, O. Bethge, G. Pozzovivo, P. Klang, E. Bertagnolli. 2010. Applied Surface Science. 256: 5031-5034.

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Tetrakis(diethylamino)zirconium, 5 g

sc-272578
5 g
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